無(wú)塵車(chē)間的潔凈水平要求[行業(yè)應(yīng)用實(shí)例]

目前，潔凈車(chē)間已廣泛應(yīng)用于各個(gè)行業(yè)，以防止顆粒污染或其他要求，防止顆粒污染，控制微生物污染環(huán)境。無(wú)塵車(chē)間目前級(jí)別最高的當(dāng)屬航天航空的航空倉(cāng)，基本是屬于1級(jí)，屬于特殊領(lǐng)域，面積相對(duì)較小。另外對(duì)級(jí)別要求較高的是生化實(shí)驗(yàn)室和高精納米材料生產(chǎn)車(chē)間，物聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來(lái)需求的一大方向。潔凈室對(duì)于凈化空調(diào)系統(tǒng)的加濕問(wèn)題而言，常用的加濕方法有很多種，有淋水、濕膜、高壓噴霧超聲波等水加濕，這些加濕方法屬等焓加濕過(guò)程。而噴蒸汽、噴干蒸汽和電極（電熱）加濕是向空調(diào)送風(fēng)中噴蒸汽，其加濕方法屬等溫加濕過(guò)程。無(wú)塵室凈化工程中各級(jí)空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應(yīng)采用初效、中效、高效空氣過(guò)濾器三級(jí)過(guò)濾。100000級(jí)空氣凈化處理，可采用亞高效空氣過(guò)濾器代高效空氣過(guò)濾器。由于不同行業(yè)的產(chǎn)品特點(diǎn)不同，不同產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程不同，使用要求也不同，環(huán)境控制的內(nèi)容和指標(biāo)也不一樣。無(wú)塵車(chē)間的環(huán)境治理內(nèi)容應(yīng)包括：空氣凈化、潔凈建筑、直接接觸水、氣、化工產(chǎn)品及生產(chǎn)設(shè)備、工業(yè)設(shè)備等污染物控制、微振動(dòng)、噪聲、靜電控制、預(yù)防等。因此，無(wú)塵車(chē)間的設(shè)計(jì)不僅要求室內(nèi)空氣凈化達(dá)到規(guī)定的空氣潔凈度等級(jí)，而且還必須防止建筑材料和無(wú)塵車(chē)間裝修不當(dāng)造成的污染。一些無(wú)塵車(chē)間還要求供應(yīng)超純水、超純氣體和高純度化學(xué)品.

1.半導(dǎo)體集成電路所需的空氣潔凈度

集成電路生產(chǎn)環(huán)境對(duì)空氣潔凈度的要求主要取決于集成電路的集成。不同工藝中的空氣潔凈度水平取決于可能污染的可能性和設(shè)備的潛在故障。

舉例說(shuō)明：

例1、一廠前集成電路工藝潔凈廠，無(wú)塵車(chē)間按加工設(shè)計(jì)，生產(chǎn)6英寸硅片，1米集成電路，圖形專(zhuān)用直尺雨1.0 um，控制顆粒尺寸0。....1

潔凈室空氣潔凈度等級(jí)要求：

光刻，膠水區(qū)ISO 3

離子注入、蝕刻CVD、外延和擴(kuò)散的ISO 3級(jí)操作區(qū)

離子注入、蝕刻cvd、擴(kuò)展、擴(kuò)散等。維修區(qū)5

例2、潔凈廠房前的集成電路、無(wú)塵車(chē)間設(shè)計(jì)生產(chǎn)5英寸硅片、256 K集成電路、圖形專(zhuān)用尺雨2.0um。粒徑控制在0.2um左右。該工藝旨在生產(chǎn)5英寸硅片、256 K集成電路，并控制粒度為0.2μm。

潔凈室空氣潔凈度等級(jí)要求：

光刻和調(diào)平區(qū)的ISO 3級(jí)

離子注入，蝕刻cvd，外延，擴(kuò)散等。操作區(qū)域4

離子注入、刻蝕CVD、外延、擴(kuò)散等維護(hù)領(lǐng)域ISO 6。

2.某些電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度

隨著信息技術(shù)的發(fā)展，許多電子產(chǎn)品的性能和質(zhì)量的提高，以及生產(chǎn)過(guò)程的小型化，對(duì)生產(chǎn)環(huán)境進(jìn)行一定程度的空氣潔凈和控制供給的要求越來(lái)越高。無(wú)塵車(chē)間工藝生產(chǎn)所需各種高純材料的質(zhì)量。目前國(guó)內(nèi)外電子產(chǎn)品沒(méi)有統(tǒng)一的供氣方式。根據(jù)《空氣潔凈度等級(jí)統(tǒng)一規(guī)定》或《生產(chǎn)環(huán)境控制要求》，各類(lèi)電子產(chǎn)品生產(chǎn)企業(yè)根據(jù)產(chǎn)品品種、生產(chǎn)工藝、產(chǎn)品特點(diǎn)，確定設(shè)計(jì)建造無(wú)塵車(chē)間的空氣潔凈度等級(jí)。生產(chǎn)工藝設(shè)備、生產(chǎn)用原輔材料及無(wú)塵車(chē)間實(shí)際操作經(jīng)驗(yàn)。

舉例說(shuō)明：

例如，在生產(chǎn)薄膜晶體管彩色液晶顯示器的無(wú)塵車(chē)間中，tft-lcd具有尺寸小、質(zhì)量輕、攜帶方便、功耗低、色彩逼真、容量大、分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。