10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間凈化工程標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范

前言：

在每單位空氣體積的潔凈空間進(jìn)行分類的水平標(biāo)準(zhǔn)，最大濃度限值大于或等于要考慮的顆粒大小。凈化工程指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計(jì)施工過(guò)程即可稱為凈化工程。無(wú)塵室凈化工程中各級(jí)空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應(yīng)采用初效、中效、高效空氣過(guò)濾器三級(jí)過(guò)濾。100000級(jí)空氣凈化處理，可采用亞高效空氣過(guò)濾器代高效空氣過(guò)濾器。潔凈室對(duì)于凈化空調(diào)系統(tǒng)的加濕問(wèn)題而言，常用的加濕方法有很多種，有淋水、濕膜、高壓噴霧超聲波等水加濕，這些加濕方法屬等焓加濕過(guò)程。而噴蒸汽、噴干蒸汽和電極（電熱）加濕是向空調(diào)送風(fēng)中噴蒸汽，其加濕方法屬等溫加濕過(guò)程。使用空方法和靜態(tài)方法進(jìn)行測(cè)試。

100，000級(jí)無(wú)塵車間：指空氣潔凈度為100，000的潔凈車間.空氣潔凈度是指在潔凈的環(huán)境中，空氣中懸浮顆粒的數(shù)量。當(dāng)粉塵濃度較高時(shí)，空氣潔凈度一般較低，而粉塵濃度較低時(shí)，空氣潔凈度較高。它是根據(jù)每立方米空氣的最大允許顆粒數(shù)來(lái)確定其空氣潔凈度水平。

本文詳細(xì)闡述了建造10萬(wàn)級(jí)潔凈車間的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范，并結(jié)合現(xiàn)行規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)，總結(jié)了潔凈度車間的特點(diǎn)，潔凈度達(dá)到10萬(wàn)級(jí)。

從通風(fēng)頻率的角度來(lái)看：

100,000級(jí)的要求是每小時(shí)18-25次。充分通風(fēng)后，空氣凈化時(shí)間不超過(guò)40分鐘。

10000級(jí)要求每小時(shí)通風(fēng)25/30，完全通風(fēng)后空氣凈化不超過(guò)30分鐘。

1000級(jí)每小時(shí)需要40-60次換氣，完全通風(fēng)后的空氣凈化時(shí)間不超過(guò)20分鐘。

包括10萬(wàn)級(jí)凈化車間在內(nèi)的各級(jí)潔凈度標(biāo)準(zhǔn)如下：

iso 14644根據(jù)懸浮粒子濃度的唯一指標(biāo)，將潔凈室及相關(guān)控制環(huán)境中空氣的潔凈度分類，只考慮累積分布在0.1微米至5.0微米之間的粒子群。

根據(jù)粒徑可分為常規(guī)顆粒、超微結(jié)構(gòu)顆粒和宏觀顆粒。

空氣潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)：ISO14644-1

空氣潔凈度等級(jí)

大于或等于標(biāo)準(zhǔn)粒徑的顆粒最大濃度限值

0.1 um

0.2 um

0.3 um

0.5um

1um

5 um

ISO Class 1

10

2

ISO Class 2

100

24

10

4

ISO Class 3

1 000

237

102

35

8

ISO Class 4

10 000

2 370

1 020

352

83

ISO Class 5

100 000

23 700

10 200

3 520

832

29

ISO Class 6

1 000 000

237 000

102 000

35 200

8 320

293

ISO Class 7

352 000

83 200

2 930

ISO Class 8

3 520 000

832 000

29 300

ISO Class 9

35 200 000

8 320 000

293 000

注意：由于測(cè)量過(guò)程中所涉及的不確定性，需要確定濃度不超過(guò)三個(gè)有效濃度數(shù)字的水平。

空氣潔凈度分級(jí)標(biāo)準(zhǔn)：GB/T 16292-1996

粒徑、數(shù)值潔凈度級(jí)別

最大允許灰塵/立方米

微生物最大允許數(shù)

0.