凈化工程潔凈技術(shù)發(fā)展概述

凈化工程潔凈技術(shù)是一個(gè)新興的科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，是跨學(xué)科、跨部門、跨學(xué)科的綜合性科技新分支。無塵室凈化工程中各級(jí)空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應(yīng)采用初效、中效、高效空氣過濾器三級(jí)過濾。100000級(jí)空氣凈化處理，可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。凈化工程指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計(jì)施工過程即可稱為凈化工程。凈化車間優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本低，潔凈室的擴(kuò)充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無塵工作臺(tái)，提高潔凈室等級(jí)。它與許多行業(yè)和學(xué)科密不可分，具有自己獨(dú)特的特點(diǎn)。我們必須學(xué)習(xí)和吸收各行業(yè)、各學(xué)科的成就、經(jīng)驗(yàn)和優(yōu)勢(shì)。善于根據(jù)自身特點(diǎn)，充分發(fā)揮和積極調(diào)動(dòng)各領(lǐng)域的科技人員。

與其他高技術(shù)一樣，凈化工程技術(shù)的誕生和初步應(yīng)用服務(wù)于軍事目的。在第二次世界大戰(zhàn)中，一些槍支、坦克、飛機(jī)等使用的儀器經(jīng)常失效。開發(fā)商意識(shí)到儀器生產(chǎn)和裝配環(huán)境中的空氣中粒子是罪魁禍?zhǔn)?，于是工業(yè)潔凈室誕生了。原來的工業(yè)清洗室比較簡(jiǎn)單。隨著原子武器研究和生化武器研究的發(fā)展，高效空氣過濾器在20世紀(jì)40年代早期得到了成功的開發(fā)和應(yīng)用。20世紀(jì)60年代初，出現(xiàn)了單向流動(dòng)潔凈室，這些設(shè)備和技術(shù)的誕生成為潔凈技術(shù)發(fā)展的里程碑，為現(xiàn)代潔凈技術(shù)奠定了基礎(chǔ)。

潔凈工程原來的潔凈標(biāo)準(zhǔn)是由美國(guó)制定的，也是使用最廣泛的。單位是帝國(guó)制度。允許粒子的最大數(shù)量為每立方英尺空氣0.5微米粉塵。另一種是國(guó)際單位，是通常使用的對(duì)值，即每立方米空氣中允許的最大粒子數(shù)0.5μm塵埃粒子。

雖然現(xiàn)代工業(yè)潔凈室仍然使用懸浮顆粒物作為主要控制對(duì)象，但在某些過程中，還提出了對(duì)空氣中分子污染物的控制要求。因此，空氣凈化技術(shù)的關(guān)鍵設(shè)備也從單顆粒過濾器發(fā)展成可以吸收有害氣體物質(zhì)的化學(xué)過濾器。

微電子工業(yè)是現(xiàn)代工業(yè)潔凈室應(yīng)用的代表。主要產(chǎn)品有大型集成電路和平板顯示器。半個(gè)多世紀(jì)以來，集成電路發(fā)展迅速。隨著集成度的提高，構(gòu)件的線寬不斷縮小。因此，氣溶膠顆粒的控制粒徑越來越小。一般認(rèn)為控制粒徑應(yīng)為線寬的1/10-1/3，但由于線寬越來越小，這一要求也很難滿足。微電子產(chǎn)品的快速發(fā)展對(duì)傳統(tǒng)潔凈技術(shù)提出了巨大挑戰(zhàn)，也促進(jìn)了現(xiàn)代潔凈技術(shù)的發(fā)展。工業(yè)潔凈室主要由空氣中的懸浮顆粒物控制，為精密機(jī)械和電子產(chǎn)品行業(yè)提供所需的生產(chǎn)環(huán)境。

20世紀(jì)60年代初是中國(guó)潔凈技術(shù)發(fā)展的開端，大約比國(guó)外晚了十年。在中國(guó)，這是一個(gè)非常特殊和困難的時(shí)期。一方面，在經(jīng)歷了三年的自然災(zāi)害和經(jīng)濟(jì)基礎(chǔ)薄弱之后，在科學(xué)和技術(shù)方面沒有與先進(jìn)國(guó)家直接接觸，也沒有必要的科學(xué)和技術(shù)數(shù)據(jù)、信息和樣本。在這些困難的條件下，中國(guó)的潔凈技術(shù)工人圍繞著精密機(jī)械、航空儀器和電子工業(yè)的需要，開始了自己的創(chuàng)業(yè)之旅。