光伏新能源硅片潔凈室解決方案

光伏新能源硅片是以硅材料制成的鏡面狀硅片，是半導(dǎo)體集成電路芯片生產(chǎn)的原材料。實(shí)驗(yàn)室凈化無菌試驗(yàn)室-潔凈實(shí)驗(yàn)室-生物安全實(shí)驗(yàn)室的建設(shè)方案包括：建筑布局和裝修、空氣調(diào)節(jié)、給排水、氣體供應(yīng)、電氣設(shè)計(jì)、集中控制、安防、施工工藝、檢測(cè)、培訓(xùn)等多方面內(nèi)容。目前，隨著微電子工業(yè)的快速發(fā)展，集成電路技術(shù)已進(jìn)入不到0.18微米的時(shí)代，極大地刺激了新型光伏能源硅片的發(fā)展。同時(shí)，對(duì)新型光伏能源硅片性能參數(shù)的要求也得到了很大的提高。因此，新型光伏能源硅片的發(fā)展前景十分樂觀。

光伏新能源硅波形的生產(chǎn)工藝

光電新能源硅片生產(chǎn)包括兩個(gè)主要部分：硅單晶棒生產(chǎn)和光伏新能硅片生產(chǎn)，分為以下幾個(gè)主要過程：

單晶棒生長(zhǎng) - 單晶棒切割和檢驗(yàn) - 外徑研磨 - 切片 - 倒角（圓邊） - 研磨/研磨片檢測(cè) - 蝕刻（化學(xué)蝕刻，LP-CVD + AP-CVD等） - PTA熱處理 - 背部損傷處理 - 拋光（ML粗拋，ML精拋） - 清洗 - 質(zhì)量檢驗(yàn) - 清潔包裝

從單晶棒的生長(zhǎng)到外徑磨削再到硅單晶棒的生產(chǎn)過程，切片后的過程是光伏新能源硅片的生產(chǎn)工藝。以日本某硅片廠為例，介紹了光伏新能源硅片生產(chǎn)過程中空調(diào)凈化系統(tǒng)和自動(dòng)控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案。

每個(gè)生產(chǎn)過程的環(huán)境控制要求

一家硅片廠生產(chǎn)4-6英寸光伏新能源硅片，年產(chǎn)量480萬片。該公司的新型光伏能源硅片用于制造分立器件、功率元件和特殊集成電路。

正文

二、空調(diào)凈化系統(tǒng)

空調(diào)凈化的設(shè)計(jì)與工藝的布置和生產(chǎn)工藝密切相關(guān)。工廠空調(diào)凈化系統(tǒng)的不同類型和不同用途都有自己的特點(diǎn)。介紹了光伏新能源硅片生產(chǎn)工藝的空調(diào)凈化系統(tǒng)方案。

2.1 空調(diào)系統(tǒng)

1切片室，倒角室和研磨室僅具有溫度控制要求。風(fēng)冷式熱泵分體式空調(diào)（PAC）用于確保室溫要求。室內(nèi)機(jī)放置在車間，使用風(fēng)道。層百葉風(fēng)口側(cè)供氣模式;室外單元放在屋頂上。切片室的風(fēng)量大，新鮮空氣由直接蒸發(fā)式熱泵式屋頂空調(diào)器S1-1和S1-2補(bǔ)充。車間具有防塵要求。風(fēng)冷式熱泵分體式空調(diào)器在回風(fēng)時(shí)具有中效過濾器（空氣塵埃計(jì)數(shù)效率：60％，1μm顆粒）。同樣的屋頂式空調(diào)需要兩級(jí)過濾器。

其原理圖見圖:

2爐房，BSD室只有溫控要求

采用空冷電加熱分體式空調(diào)(PAL)來保證室溫.室內(nèi)單元放置在車間附近，空氣接收管安裝在空氣接收管附近。室外單元放在屋頂上。新鮮空氣來自鄰近潔凈室的正壓力。車間有防塵要求，空冷電加熱分體式空調(diào)回風(fēng)口設(shè)有中效過濾器(空氣粉塵計(jì)數(shù)效率：60%，適用于1米)。