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專業(yè)潔凈室凈化工程
設(shè)計(jì)、施工、維護(hù)
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凈化車間的規(guī)格一般適用于美國(guó)聯(lián)邦規(guī)格No.209B。這個(gè)規(guī)格對(duì)凈化間的環(huán)境要素即空氣潔凈度、溫濕度、室內(nèi)壓等都進(jìn)行了規(guī)格化規(guī)定。但是，伴隨著潔凈化程度的不斷提高，美國(guó)聯(lián)邦規(guī)格進(jìn)行了改版，其內(nèi)容主要是以潔凈度進(jìn)行分類。最新版已成為No209E，名稱也進(jìn)行了變更。No.209E的級(jí)別表示是把0.5um以上的顆粒數(shù)為10x個(gè)/m3，把X表示成級(jí)別，同時(shí)加上米制M的意思，表示成M3.5等等。在表7里表示的是美國(guó)聯(lián)邦規(guī)格No.209B，表8表示的是美國(guó)聯(lián)邦規(guī)格No.209E。在日本，相應(yīng)的規(guī)格是JIS B9920。JIS9920的級(jí)別表示是把0.1um以上的顆粒數(shù)規(guī)定為10的x立方個(gè)，用Y表示級(jí)別。表9、圖2表示了JIS B 9920的級(jí)別的主要內(nèi)容。
表7 美國(guó)聯(lián)邦規(guī)格No.209B
|
凈化間級(jí)別 |
粒子 |
室內(nèi)壓力Pa mmH2O |
溫度 |
濕度 |
氣流 換氣次數(shù) |
照度 |
|||||
|
粒徑 um |
累計(jì)粒子數(shù) |
范圍 （℃） |
推薦值（℃） |
差 （℃） |
高 （%） |
最低 % |
誤差 % |
||||
|
100
1000
10000
100000 |
≥0.5
≥0.5 ≥5 ≥0.5 ≥5 ≥0.5 ≥5 |
100
1000 10 10000 65 100000 700 |
+13 （+1.3） 以上 |
19.4— 25 |
22.2 |
±2.8 特別時(shí)為±1.4 |
45 |
30 |
±10 特別時(shí)為±5 |
層流方式 0.45m/s ±0.1m/s 非層流方式 ≥20次/h |
1080--1620 |
表8 美國(guó)聯(lián)邦規(guī)格No.209E的潔凈度級(jí)別分類
級(jí)別上限值是各級(jí)別名。上限值用指定粒徑以上的濃度（單位堆積粒子數(shù)）表示。*
|
級(jí)別名稱** |
級(jí)別上限值 |
||||||||||
|
粒徑 0.1um |
粒徑 0.2um |
粒徑 0.3um |
粒徑 0.5um |
粒徑 5um |
|||||||
|
SI*** |
English Unit |
(m3) |
(ft3) |
(m3) |
(ft3) |
(m3) |
(ft3) |
(m3) |
(ft3) |
(m3) |
(ft3) |
|
MI M1.5 M2 M2.5 M3 M3.5 M4 M4.5 M5 M5.5 M6 M6.5 M7 |
1
10
100
1000
10000
100000 |
350 1240 3500 12000 35000 -- -- -- -- -- -- -- -- |
9.91 35.0 99.1 350 991 -- -- -- -- -- -- -- -- |
75.7 265 757 2650 7570 26500 75700 -- -- -- -- -- -- |
2.14 7.50 21.4 75.0 214 750 2140 -- -- -- -- -- -- |
30.9 106 309 1060 3090 10600 30900 -- -- -- -- -- -- |
0.875 3.00 8.75 30.0 87.5 300 875 -- -- -- -- -- -- |
10.0 35.3 100 353 1000 3530 10000 35300 100000 353000 1000000 3530000 10000000 |
0.283 1.00 2.83 10.0 28.3 100 283 1000 2380 10000 28300 100000 283000 |
-- -- -- -- -- -- -- 247 618 2470 6180 24700 61800 |
-- -- -- -- -- -- -- 7.00 17.5 70.0 175 700 1750 |
*上表中表示的級(jí)別上限值僅僅是為了級(jí)別分類而定義的，并不表示實(shí)際的粒徑分布值。
**針對(duì)中間級(jí)別的濃度上限值，用如下的公式進(jìn)行計(jì)算。
粒子直徑/m3=10M(0.5/d)2.2，其中，M : SI單位里的級(jí)別名稱，D :粒徑（um）
***國(guó)際單位（Systeme International d’Unites的縮寫）
圖1，209E的潔凈度級(jí)別（圖略）圖中的●標(biāo)記表示評(píng)價(jià)潔凈度級(jí)別用的對(duì)象粒子。
（）內(nèi)數(shù)值是用English unit表示級(jí)別。
圖2，JIS B 9920的潔凈度級(jí)別的上限濃度
表9，JIS B 9920主要內(nèi)容
表10，美國(guó)航空宇宙局規(guī)格主要內(nèi)容
|
生物凈化間級(jí)別 |
粒子 |
生物粒子 |
室內(nèi) 壓力 Pa mmH2O
|
溫度℃ |
濕度 % |
氣流 換氣次數(shù)
|
照度 Lx |
||
|
粒徑 um |
累計(jì) 粒子數(shù) 個(gè)/ft (個(gè)/l) |
浮游量 個(gè)/ft (個(gè)/l) |
沉降量 |
||||||
|
100
10000
100000 |
≥0.5
≥0.5
≥5
≥0.5
≥5 |
100 （3.5）
10000 （350） 65（2.3）
100000 （3500） 700(25) |
0.1 （0.0035）
0.5 （0.0176）
2.5 （0.0884） |
1200 （12900）
6000 （64000）
30000 （323000） |
+13 （+1.3） 以上 |
推 薦 值 |
40 — 50 |
層流方式 0.45m/s ±0.1m/s 非層流式 ≥20次/h |
1080— 1620 |
如前所述，凈化車間的級(jí)別一般分成M3.5（100）、M4.5（1000）、M5.5（10000）、M6.5（100000）4個(gè)級(jí)別。但根據(jù)各產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的作業(yè)工序不同，形成必要的級(jí)別是不一樣的。例如，在半導(dǎo)體制造工廠等里邊，根據(jù)作業(yè)內(nèi)容，要求有M1（10）—M5.5（1000）的凈化間。而且，在制藥工廠里，根據(jù)產(chǎn)品的純度、作業(yè)工序，需有從M3.5到M6.5（100，000）范圍廣泛的級(jí)別不等凈化間。因此說(shuō)，各種產(chǎn)業(yè)所需要的凈化間，其要求的潔凈度是不同的。
就一般級(jí)別而言，表11可以作為參考。
表11，各產(chǎn)業(yè)所要求的凈化車間級(jí)別一覽
|
領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè) |
潔凈度標(biāo)準(zhǔn)（級(jí)別） |
內(nèi)容 |
||
|
SI |
English unit |
|||
|
半導(dǎo)體工業(yè) （IC、LSI等） |
掩模板對(duì)準(zhǔn)工藝 |
M3.5 |
100 |
|
|
刻蝕工藝 |
M3.5 |
100 |
腐蝕加工 |
|
|
擴(kuò)散工藝 |
M3.5 |
100 |
高純度擴(kuò)散 |
|
|
蒸著工藝 |
M3.5 |
100 |
高純度電鍍 |
|
|
涂布工藝 |
M3.5 |
100 |
感光劑涂布 |
|
|
電子設(shè)備 |
計(jì)算器制造 |
M5.5 |
10,000 |
磁頭 |
|
陰極射線管 |
M5.5 |
10,000, |
遮屏 |
|
|
磁帶 |
M5.5 |
10,000 |
防止雜音 |
|
|
精密儀器 |
陀螺、微型軸承 |
M5.5 |
10,000 |
提高精度 |
|
導(dǎo)彈部件、繼電器 |
M5.5 |
10,000 |
防止誤動(dòng)作 |
|
|
鐘表、小型計(jì)量?jī)x器 |
M5.5 |
10,000 |
組立、封裝、修理 |
|
|
光學(xué)、印刷 |
照相機(jī)、印刷電路板 |
M5.5 |
10,000 |
制作 |
|
鏡頭、膠片 |
M4.5 |
1,000 |
連接 |
|
|
電子制版 |
M5.5 |
10,000 |
制作、檢查 |
|
|
化學(xué)藥品 |
注射液充填 |
M3.5 |
100 |
調(diào)和、充填 |
|
無(wú)菌動(dòng)物養(yǎng)育 |
M3.5 |
100 |
SPF |
|
|
化學(xué)藥品 |
抗生物 |
M5.5 |
10,000 |
充填、檢查 |
|
一般醫(yī)療品 |
M6.5 |
100,000 |
制造 |
|
|
食品 |
釀造、發(fā)酵 |
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