凈化車間的主要作用

凈化車間的主要功能是控制產(chǎn)品（如硅片）接觸的產(chǎn)品的潔凈度和溫度和濕度，使產(chǎn)品可以在良好的環(huán)境空間內(nèi)生產(chǎn)和制造。凈化工程指控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此環(huán)境空間的設(shè)計(jì)施工過程即可稱為凈化工程。無塵室凈化工程中各級(jí)空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應(yīng)采用初效、中效、高效空氣過濾器三級(jí)過濾。100000級(jí)空氣凈化處理，可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。無塵車間目前級(jí)別最高的當(dāng)屬航天航空的航空倉(cāng)，基本是屬于1級(jí)，屬于特殊領(lǐng)域，面積相對(duì)較小。另外對(duì)級(jí)別要求較高的是生化實(shí)驗(yàn)室和高精納米材料生產(chǎn)車間，物聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來需求的一大方向。這個(gè)空間被稱為凈化車間。根據(jù)國(guó)際慣例，無塵凈化水平主要基于每立方米空氣中顆粒直徑大于分割標(biāo)準(zhǔn)的空氣中顆粒數(shù)。也就是說，所謂的無塵不是100％沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常小的單位。當(dāng)然，與普通粉塵相比，本標(biāo)準(zhǔn)中的防塵顆粒已經(jīng)非常小，但對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)，即使是一點(diǎn)點(diǎn)灰塵也會(huì)產(chǎn)生很大的負(fù)面影響，因此在光學(xué)建筑產(chǎn)品的生產(chǎn)中也是如此。潔凈室是不可避免的要求。

凈化車間的粉塵總量控制在每立方米3500微米以下，目前符合國(guó)際A級(jí)無塵標(biāo)準(zhǔn)，凈化車間芯片級(jí)生產(chǎn)和加工所采用的無塵標(biāo)準(zhǔn)高于A級(jí)，這種高標(biāo)準(zhǔn)主要用于一些較高的芯片生產(chǎn)。5μm以下的粉塵量嚴(yán)格控制在每立方米1000塵以內(nèi)，在工業(yè)中俗稱1K級(jí)。